플라즈마 적용분야

08.

Solar Cell / Industrial Glass

쏠라쎌/산업용 글라스

  • - 박막형 쏠라쎌 케미컬 세정공정에 DRP 전극 적용하여 케미컬 농도 저하 (친환경)
  • - 스마트 글라스 (아키텍처 글라스) 코팅 전처리로 기존 케미컬 공정 개선용 AP
    플라즈마 (DRP 전극) 적용
쏠라쎌/산업용 글라스

DRP

  1. 1. 케미컬 (알카리) 세정 공정에서 케미컬 농도를 낮출 수 있음 (환경 친화적)
  2. 2. 박막 코팅에 신뢰성을 높여 생산 수율 향상
  3. 3. 오염된 Glass 기판 세정 (Solar Cell Panel, Smart Glass)
  4. 4. 디스플레이, 건축용 Glass 판넬 등에 Suction 마크, 핀 마크, Water 마크 제거 가능
  5. 5. AF 등 표면 보호용 나노 코팅 막 잔사 제거 가능

Specification

specification
300D 400D 500D 800D
A (mm) 500 610 830 995
B (mm) 431 541 761 926
C (mm) 214 214 214 214
D (mm) 202 202 202 202
E (mm) 318 320 312 312
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  • - 결정질 실리콘 쏠라쎌 Texturing/Diffusion 전처리 공정에 AP 플라즈마 (M 전극) 적용

Specification

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