플라즈마 적용분야

12.

Ultrasonic Dry Cleaner

USC 파티클 제거기

  • - 스마트폰 공정 중 발생하는 Tool 파티클 제거 공정 적용
USC 파티클 제거기

USC 파티클 제거기 / USC-TS 시리즈

  1. 1. 터치패널 라미네이션, Display Panel 및 Module 조립 등 공정에서 마이크론 이하 크기의 미세 파티클 및 장비 이송 시 발생하는 수 마이크론 크기의 파티클 제거 모듈
  2. 2. Double Ultrasonic Air Flow 및 Triple Suction 으로 다양한 파티클 (1~100μm) 제거 효율적 (타사대비 동등 수준 이상의 제거 성능)
  3. 3. 상대적으로 Compact 한 모듈 크기로 설치가 용이하고 유지보수가 간단
  4. 4. 관련 기술 특허 출원 완료 (출원번호 : 한국 10-2020-0007121, 미국 16790447)

Specification

USC-TS

USC-TS
MODEL Cleaning Area W[mm] D[mm] H[mm] Dust Collector
USC-TS100 100 100 140 107 LC-50
USC-TS200 200 100 240 107 LC-100
USC-TS300 300 100 340 107 LC-100
USC-TS400 400 100 440 107 LC-200
USC-TS500 500 100 540 107 LC-200
USC-TS600 600 100 640 107 LC-200

집진기 모듈
(Dust Collector Module)

집진기 모듈 (Dust Collector Module)
MODEL 풍량[CMM] 정압 [mmAq] 출력[kW] W[mm] D[mm] H[mm]
LC-50 7 210 0.55 512.5 522 773
LC-100 12 230 0.75 740 692 1013
LC-200 30 230 1.5 740 692 1298
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